|
قابل ذکر است که
در دستگاه هاي SEM پوششدهي نمونههاي نارسانا براي
تصويربرداري مورد نياز ميباشد. علاوه بر اشعه يوني اوليه،
ميتوان از اشعه يونهاي ديگر نيز بر روي نمونه استفاده کرد.
اين گازها ميتوانند با اشعه گاليم اوليه واکنش داده و به
عنوان اچ کننده انتخابی سطح به کار روند و يا براي رسوبدهي
مواد رسانا و يا نارسانا توسط اشعه يونهاي اوليه به کار روند.
تا به امروز
بيشترين کاربرد دستگاه FIB در صنعت نيمههادي بوده است. برخي
از اين کاربردها عبارتند از : آناليز عيوب، بهسازي مدار، تعمير
ماسکها و آماده سازي نمونههاي TEM.
امروزه FIBها
قدرت تفکيک بالايي دارند و ميتوان از آنها براي ماشينکاري
نمونهها به صورت درجا استفاده کرده و همچنين در حین ماشینکاری
از نمونه تصويربرداري کرد. علاوه بر کاربردهاي FIB در
نيمههاديها اين دستگاه در علم مواد نيز کاربردهاي بسيار
زيادي دارد. از قبيل اندازهگيري رشد ترک، تغيير فرم
کامپوزيتهاي زمينه فلزي، چسبندگي پوششهاي پليمري و غيره
قابليتهاي
دستگاه FIB در نيمههاديها و مهندسي مواد: [2]
1- اچ کردن به
کمک گازهاي XeF و XeCl
2- رسوبدهي
فلزات
3- ماشينکاري
مواد تا قدرت تفکيک چند ده نانومتر
4- تصويرگيري از
سطوح با استفاده از الکترونها و يونهاي ثانويه( اين تصاوير
ميتوانند با تصاوير SEM رقابت داشته باشند).
5- تصويرگيري از
کنتراست دانهها بدون اچ کردن ماده
6- بررسي وضعيت
شيميايي سطوح به خصوص در مطالعات خوردگي
7-مقطع زني و
تصوير برداري از سطوح
مراجع:
1-
http://www.fibics.com
2-
http://www.iisb.fraunhofer.de
|
