اگر همواره مانند
گذشته بينديشيد، هميشه همان چيزهايي را بهدست ميآوريد كه تا بحال كسب
كردهايد
فاينمن
باریکه
یونی متمرکز (FIB)
چکيده
سيستمهاي باريکه يوني متمرکز به
صورت تجاري در حدود 10 سال است که توليد ميشوند. در ابتدا کاربرد آنها فقط در صنعت
نيمههادي بوده است. اين دستگاه بيشتر شبيه دستگاه ميکروسکوپي الکتروني روبشي عمل
ميکند با اين تفاوت که در دستگاههاي FIB به جاي اشعه الکتروني از اشعه يونهاي
گاليم استفاده ميشود
ریکه یونی متمرکز (FIB)
سيستمهاي باریکه یونی متمرکز به
صورت تجاري در حدود 10 سال است که توليد ميشوند. در ابتدا کاربرد آنها فقط در صنعت
نيمههادي بوده است. این دستگاه بیشتر شبيه دستگاه میکروسکوپی الکترونی روبشی عمل
ميکند با اين تفاوت که در دستگاههاي FIB به جاي اشعه الکتروني از اشعه يونهاي
گاليم استفاده ميشود.
دستگاه FIB در جريانهاي پايين اشعه يونهاي گاليم براي تصويربرداري و در جريانهاي
بالاي يونهاي گاليم براي اهداف بخصوصي مانند ماشينکاري و يا پاشش اتمي استفاده ميشود.
همانطور که در شکل (1) مشاهده ميشود اشعه يونهاي Ga به سطح نمونه برخورد ميکند و
مقداري از اتمهاي سطحي را به صورت يونهاي مثبت يا منفي و يا به صورت اتمهاي خنثي
از سطح خارج ميکند. همچنین از برخورد اشعه یونهای گالیم با سطح الکترونهاي ثانويه
توليد ميشود[1]
شكل 1- شماتیکی از عملکرد دستگاه
FIB
از سيگنالهاي ناشي از يونهاي خارج
شده از سطح و يا الکترونهاي ثانويه براي تصوير برداري استفاده ميشود. در جريانهاي
پايين مقدار کمي از ماده از سطح خارج و کنده ميشود. بنابراين ميتوان تصاويري با
قدرت تفکيک چند نانومتر بدست آورد. در جريانهاي بالاتر نيز مقدار زيادي از سطح
کنده ميشود و ميتوان براي ماشينکاري مواد در مقياس زير ميکرومتر استفاده کرد.
در نمونههاي نارسانا از يک تفنگ الکتروني کم انرژي براي خنثيسازي استفاده ميشود.
در اين حالت همچنين ميتوان نمونههاي نارسانا را بدون پوششدهي و رسانا کردن
تصويربرداري و يا ماشينکاري کرد
